雅馬拓 等離子清洗機 YSP600U/2KU

選用小型腔體，反應(yīng)效率高。

更容易嵌入生產(chǎn)線使用。

可通過操作面板自由切換等離子模式

雅馬拓 等離子清洗機 PM100

經(jīng)濟型等離子清洗機。

簡單的等離子處理操作。

無需高頻使用申請。

PR300/301等離子灰化機(DP模式、桶型)|PR300/301等離子清洗機

雅馬拓 等離子清洗機 V1000/1000X/1000XS

IC/LED封裝、BGA/CSP基板處理。

自然氧化膜·有機物去除。

界面活性處理。

雅馬拓 等離子灰化機 PR200/300/301

RF為200 W的高性能輸出類型（PR200）。

由于是尺寸緊湊的臺式機，很小的位置都可以安裝。

同步，自動調(diào)諧，操作簡單（PR200）

雅馬拓等離子清洗機V1000/V1000X/V1000XS

等離子模式：DP/RIE

高頻電源：13.56MHz

雅馬拓 等離子清洗機 PDC610

可選擇RIE/DP模式（采購時指定）。

可處理縱型的試料收納盒。

電極可選擇1·2·3段（采購時指定）

雅馬拓小型等離子裝置（經(jīng)濟型）PR200

pipi小型等離子裝置_PIPI小型等離子清洗機

雅馬拓 等離子清洗機 PDC610

可選擇RIE/DP模式（采購時指定）。

可處理縱型的試料收納盒。

電極可選擇1·2·3段（采購時指定）

PDC200/210/510等離子清洗機

高頻輸出：300W/500W

雅馬拓PDC610等離子清洗機_PDC610等離子清洗器

等離子模式:RIE/DP（固定模式）

高頻輸出:Max600W

電極構(gòu)造:3段獨立平行平板（固定）

PR500/510等離子灰化機|PR500/510等離子清洗機

雅馬拓 等離子清洗機 PDC610

可選擇RIE/DP模式（采購時指定）。

可處理縱型的試料收納盒。

電極可選擇1·2·3段（采購時指定）

PM100等離子清洗機_PM100等離子清洗器

低頻輸出：100W

反應(yīng)腔：Φ100×200mm

雅馬拓 等離子清洗機 PDC200/210/510

DP模式（PDC510標配·PDC200/210選配）。

RIE模式。

均勻性高的電極構(gòu)造。

雅馬拓等離子清洗機 YSP63FA

模式：RIE（DP模式選購）

高頻輸功率：600W

雅馬拓 等離子清洗機 PM100

經(jīng)濟型等離子清洗機。

簡單的等離子處理操作。

無需高頻使用申請。

等離子清洗機YSP600U/2KU

模式：RIE（DP模式選購）

高頻輸功率：600W/2000W

雅馬拓 等離子清洗機 YSP63FA

傳送速度可在Hi-Low間調(diào)節(jié)

可通過網(wǎng)絡(luò)進行遠程操作（選購品）

軟性基板也可以進行傳送操作。