- 商品名稱：雅馬拓等離子清洗機(jī) YSP63FA
- 商品編號(hào)：YQC001913
- 品牌：YAMATO雅馬拓
- 上架時(shí)間：2019-08-01
- 商品毛重：0克
如果您發(fā)現(xiàn)商品信息不準(zhǔn)確，歡迎糾錯(cuò)；可進(jìn)行樣品傳輸系統(tǒng)定制。特點(diǎn)
- 操作快捷方便：放入樣品收納盒、自動(dòng)處理、取出收納盒。
- 軟性基板也可以進(jìn)行傳送操作。
- 傳送速度可在Hi-Low間調(diào)節(jié)。
- 可通過網(wǎng)絡(luò)進(jìn)行遠(yuǎn)程操作（選購品）。
型號(hào)
YSP63FA
模式
RIE（DP模式選購）
高頻輸功率
600W
反應(yīng)臺(tái)尺寸
W385×D362mm
內(nèi)腔尺寸
W395×D378×H45mm（內(nèi)尺寸）
反應(yīng)氣體
2進(jìn)氣系統(tǒng)（氧氣、氬氣）
反應(yīng)氣體流量控制
質(zhì)量流量控制器
真空泵
旋轉(zhuǎn)式真空泵（約500L/min）
氣體導(dǎo)入口
反應(yīng)氣體2個(gè)、填充氣體1個(gè)、空氣1個(gè)
外形尺寸
W1860×D1100×H1800mm
