- 商品名稱：雅馬拓等離子清洗機V1000/V1000X/V1000XS
- 商品編號：YQC001184
- 品牌：YAMATO雅馬拓
- 上架時間：2019-08-01
- 商品毛重：0克
如果您發(fā)現(xiàn)商品信息不準確，歡迎糾錯；高頻輸出 100~1,000W（V1000）/100~1,000W&1,500W（V1000X/1000XS）
電極尺寸 280×280mm（V1000） 300×300mm（V1000X） 400×375mm（V1000XS）
使用等離子的表面處理裝置。著重于“使用簡單”的臺式高性能型號，調(diào)取數(shù)據(jù)簡單，以電子材料為中心，可對應(yīng)多種用途。
特征
● 可變更電極構(gòu)造提高等離子效果。
● 搭載高精度適配器，高性能RF 電源。
● 可根據(jù)需求規(guī)格提供定制。
用途
● 硅晶圓的灰化及蝕刻
● 基板表面污垢處理
● IC/LED封裝、BGA/CSP基板處理
● 半導(dǎo)體相關(guān)部品的電子材料的干式清洗
● 自然氧化膜·有機物去除
● 界面活性處理
● 表面污染物去除
內(nèi)槽
規(guī)格
型號
V1000
V1000X
V1000XS
等離子模式
DP/RIE
高頻電源
13.56MHz
輸出功率
Max1000W
Max1000 & 1500W
有效電極尺寸
W280×D280mm
W300×D300mm
W400×D375mm
電極
平行平板
2段電極（獨立）
平板（多目的）
反應(yīng)氣體
聚合控制器2系統(tǒng)（填充氣路另行安裝）
真空泵（標配）
約1000L/min
約1500L/min
1000 & 1500L/min
安全裝置
門檢測開關(guān)、聯(lián)鎖機構(gòu)、緊急停止開關(guān)、溫度過升防止器等
管路連接圖
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