- 商品名稱:雅馬拓等離子清洗機V1000/V1000X/V1000XS
- 商品編號:YQC001184
- 品牌:YAMATO雅馬拓
- 上架時間:2019-08-01
- 商品毛重:0克
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電極尺寸 280×280mm(V1000) 300×300mm(V1000X) 400×375mm(V1000XS)
使用等離子的表面處理裝置。著重于“使用簡單”的臺式高性能型號,調(diào)取數(shù)據(jù)簡單,以電子材料為中心,可對應(yīng)多種用途。
特征
● 可變更電極構(gòu)造提高等離子效果。
● 搭載高精度適配器,高性能RF 電源。
● 可根據(jù)需求規(guī)格提供定制。
用途
● 硅晶圓的灰化及蝕刻
● 基板表面污垢處理
● IC/LED封裝、BGA/CSP基板處理
● 半導(dǎo)體相關(guān)部品的電子材料的干式清洗
● 自然氧化膜·有機物去除
● 界面活性處理
● 表面污染物去除
內(nèi)槽
規(guī)格
型號
V1000
V1000X
V1000XS
等離子模式
DP/RIE
高頻電源
13.56MHz
輸出功率
Max1000W
Max1000 & 1500W
有效電極尺寸
W280×D280mm
W300×D300mm
W400×D375mm
電極
平行平板
2段電極(獨立)
平板(多目的)
反應(yīng)氣體
聚合控制器2系統(tǒng)(填充氣路另行安裝)
真空泵(標配)
約1000L/min
約1500L/min
1000 & 1500L/min
安全裝置
門檢測開關(guān)、聯(lián)鎖機構(gòu)、緊急停止開關(guān)、溫度過升防止器等
管路連接圖
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